AT211A/AT211B光柵尺

539系列-細(xì)長(zhǎng)型/高速度型

日本三豐 MITUTOYO AT211A 光柵尺

特點(diǎn)：

1、高精度，高分辨率封裝型光柵尺，是半導(dǎo)體加工系統(tǒng)和CNC機(jī)床在定位時(shí)進(jìn)行反饋控制的理想工具。

2、兩種型號(hào)可供選擇：AT211A多點(diǎn)安裝型，增強(qiáng)了防震性能。AT211B可安裝在機(jī)床兩端。AT211B的尺寸與AT111細(xì)長(zhǎng)型相同。

技術(shù)參數(shù)：

有效測(cè)量范圍： 100-1500mm

精度（20℃時(shí)）：

有效測(cè)量范圍 標(biāo)準(zhǔn)型 高精度型

100到500mm （3+3L/1000）µm （2+2L/1000）µm

500到1500mm （3+3L/1000）µm ——

L=有效測(cè)量范圍（mm）

輸出波形：兩路90度相移正交信號(hào)

信號(hào)輸出間距：20µm

大響應(yīng)速度：5.4-120m/min

分辨率：0.5,0.1,0.2,1,2.5,5µm

塵/水防護(hù)等級(jí)：IP53