? LEGEX系列為初項(xiàng)0.28μm的高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，對(duì)所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并消除或*地降低其影響。
? 固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承在高剛性導(dǎo)軌上運(yùn)行確保了良好的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性和高幾何精度。采用FEM結(jié)構(gòu)解析模擬進(jìn)行的應(yīng)力分析，保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度，使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至*小。另外，其他多種技術(shù)如抗振測(cè)量等用于驅(qū)動(dòng)單元結(jié)構(gòu)中，實(shí)現(xiàn)了高精度。

?配備有三豐高精度標(biāo)尺、熱膨脹系數(shù)幾乎為零的高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型線性編碼器。為其*性能提供了*的位置檢測(cè)功能。
? LEGEX高精度系列三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)配有溫度補(bǔ)償功能，因此設(shè)置環(huán)境不需要恒溫控制室，就可以在寬溫度范圍內(nèi)保證主機(jī)精度。

? 提供豐富的選件，包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測(cè)頭，數(shù)據(jù)處理部等支持高精度測(cè)量，如要求高尺寸精度的齒輪、軸承、透鏡、硬?；驖L動(dòng)轉(zhuǎn)子。

• 
• 
•