特點用途
◆本型產品采用標準的MEMS工藝設計制造的硅力敏感片
◆適用于對硅、玻璃、不銹鋼及密封膠不腐蝕無導電的氣體介
質的差壓測量。
◆無應力封裝，具有優(yōu)良的穩(wěn)定性
◆小量程可低至200Pa
測量介質： 適用于非腐蝕性、非導電性氣體介質的差壓測量
壓力量程： 0～±16～±25～±100～±160～±400～±1000kpa
過載能力： 300%FS （大于20kPa為200%FS）
承受靜壓：100kPa（大于20kPa為1Mpa）
介質溫度： -25℃～85℃
補償溫度： -10℃～60℃
精 度： 0.1% 0.25% 0.5%
零位及靈敏度溫度系數(shù)： JB級1 10-4/℃.FS JA級2 10-4/℃.FS M級3 10-4/℃.FS
零位時漂穩(wěn)定性： JB級0.1%FS JA級0.2%FS M級0.25%FS
壓力接口： M10×1、74o錐角，管接咀Φ7mm，M20×1.5，兩端出口；扣壓式Φ6mm，同側出口
出線方式： 航插、霍斯曼、電纜鎖頭直出線三種可選
供電輸出方式： 4～20mA/24VDC或0～5V/15VDC（其它信號及電源可特訂）