電容式位移傳感器ZNXsensor測量顯微鏡移動平臺的微量位移

    無論是生物工程中的細胞操作、集成電路或光電子器件的加工還是采用電子顯微鏡進行納米操作盡管其精度要求各不相同但在硬件裝備中均有一項共性的關鍵技術那就是要解決載物臺或其相應設備的高精度的自動測量和定位。要實現(xiàn)這項關鍵技術高精度控制系統(tǒng)是非常重要的。搭建了一種閉環(huán)控制系統(tǒng)用于控制某特性顯微鏡工作臺。傳感器的使用是閉環(huán)控制中必不可少的一環(huán)，電容式位移傳感器的精度決定著系統(tǒng)的精度。

顯微鏡移動臺在移動停止后會有一定的反彈，平臺移動的的位移量有幾毫米，但反彈量很微小，但反彈量決定了平臺的移動精度?？梢允褂秒姕u流傳感器測量平臺的較大范圍的移動，使用ZNXsensor電容式位移傳感器測量反彈的微小位移。

ZNXsensor電容式位移傳感器是一種非接觸式的電容式位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個傳感器可用在兩個不同的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。

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