反作用
所有667 型執(zhí)行機構(gòu)均為反作用執(zhí)行機構(gòu)。對下膜蓋施加氣源壓力會使執(zhí)行機構(gòu)推桿向上移動，與起平衡作用的彈簧力對抗。當(dāng)加載壓力減小時，彈簧會使執(zhí)行機構(gòu)推桿向下移動。如果加載壓力消失，彈簧會使推桿移到*下位置。這種執(zhí)行機構(gòu)向下推關(guān)斷型閥門提供“失氣關(guān)閉”作用方式，向下推打開型閥門提供“失氣打開”作用方式。