價(jià)格
¥550,000.00
型號
OLS4500
品牌
奧林巴斯
所在地
暫無
更新時(shí)間
2024-12-06 16:53:46
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實(shí)現(xiàn)納米級觀測的顯微鏡。不會丟失鎖定的目標(biāo)。
電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器切換倍率和觀察方法
配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡,并在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了SPM單元??梢詿o縫切換倍率和觀察方
涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,***光學(xué)技術(shù)打造的光學(xué)顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外,對于光學(xué)顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進(jìn)行觀察。在激光微分干涉(DIC)
觀察中,可以進(jìn)行納米級微小凹凸的實(shí)時(shí)觀察。
明視場觀察(IC元件)
微分干涉(DIC)觀
激光微分干涉(DIC)觀察
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時(shí)間。
放置好樣品后,所有的操作都在1臺裝置上完成??梢匝杆?,正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
一體機(jī)的機(jī)型,所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法就能夠靈活應(yīng)對新樣品。
OLS4500是把光學(xué)顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機(jī),所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進(jìn)行觀察和評價(jià)。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能,所以能夠高效輸出***結(jié)果。
OLS4500實(shí)現(xiàn)了無縫觀察和測量
【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象
使用光學(xué)顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對象
OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學(xué)觀察的特長, 除了***常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達(dá)到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動(dòng)態(tài)范圍功能), 該功能使用不同的曝光時(shí)間拍攝多張影像后進(jìn)行合成, 來顯示亮度平衡更好、強(qiáng)調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
BF 明視場
***常使用的觀察方法。在觀察中真實(shí)再現(xiàn)樣品的
顏色。適用于觀察有明暗對比的樣品。
DIC 微分干涉
對于在明視場觀察中看不到的樣品的微小高低差,
添加明暗對比使之變?yōu)榱Ⅲw可視。適用于觀察金
相組織、硬盤和晶圓拋光表面之類鏡面上的傷痕
或異物等。
簡易偏振光
照射偏振光(有著特定振動(dòng)方向的光線), 使樣
品的偏光性變?yōu)槿庋劭梢?。適用于觀察金相組織、礦物、半導(dǎo)體材料等。
HDR 高動(dòng)態(tài)范圍
使用不同曝光時(shí)間拍攝多張影像并進(jìn)行影像合成,
可以觀察平衡度較好的明亮部分和陰暗部分。此
外,還可以強(qiáng)調(diào)紋理(表面狀態(tài)),進(jìn)行更精細(xì)的
觀察。
使用激光顯微鏡,可以觀察到光學(xué)顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的物鏡, 實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學(xué)顯微鏡中無法看到的觀察對象。在激光微分干涉(DIC)模式中還可以實(shí)時(shí)觀察納米級的微小凹凸。
明視場觀察(玻璃板上的異物)
激光微分干涉觀察
【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象,在SPM上正確完成觀察
實(shí)現(xiàn)了無縫觀察,不會丟失觀察對象
OLS4500在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡, 以及小型SPM單元。在光學(xué)顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實(shí)時(shí)觀察中, 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心, 所以把觀察目標(biāo)點(diǎn)對準(zhǔn)該位置后, 只要切換到探針顯微鏡, 就能夠正確接近觀察對象。因此, 只需1次SPM掃描就能獲取目標(biāo)影像, 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。
不會在SPM觀察中迷失的、可切換式向?qū)Чδ?
使用探針顯微鏡開始觀察之前, 可以在向?qū)М嬅嫔显O(shè)置所需的條件, 如安裝微懸臂、掃描范圍等。所以經(jīng)驗(yàn)較少的操作者也能安心完成操作。
【納米級測量】簡單操作,可以迅速獲得測量結(jié)果
新開發(fā)的小型SPM測頭, 減少了影像瑕疵
新開發(fā)的小型SPM測頭
OLS4500采用了裝在電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器上的物鏡型SPM測頭。同軸、共焦配置了物鏡和微懸臂前端,所以切換SPM觀察時(shí)不會丟失觀察目標(biāo)點(diǎn)。不僅如此,新開發(fā)的小型SPM測頭提高了剛性,所以與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比,減少了影像瑕疵并提高了可追蹤性。
使用向?qū)Чδ?,自由放大SPM影像
使用向?qū)Чδ埽?可以觀察時(shí)進(jìn)一步放大探針顯微鏡拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠標(biāo)指針設(shè)置放大范圍并掃描, 就可以獲取所需的SPM影像。可以自由設(shè)置掃描范圍, 所以大幅度提高了觀察和測量的效率。
向?qū)Чδ茉?0μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范圍
優(yōu)異的分析功能, 應(yīng)對各種測量目的
曲率測量(硬盤的傷痕)
OLS4500能夠根據(jù)您的測量目的分析在各種測量模式中獲取的影像,并以CSV格式輸出測量結(jié)果。OLS4500有以下分析功能。
跟從向?qū)М嬅娴闹甘荆?可輕松操作的6種SPM測量模式
接觸模式
控制微懸臂與樣品之間作用的排斥力為恒定的同時(shí), 使微懸臂進(jìn)行靜態(tài)掃描, 在影像中呈現(xiàn)樣品的高度。還可以進(jìn)行彎曲測量。
金屬薄膜
動(dòng)態(tài)模式
使微懸臂在共振頻率附近振動(dòng), 并控制Z方向的距離使振幅恒定, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品高度。特別適用于高分子化合物之類表面柔軟的樣品及有粘性的樣品。
鋁合金表面
相位模式
在動(dòng)態(tài)模式的掃描中, 檢測出微懸臂振動(dòng)的相位延遲??梢栽谟跋裰谐尸F(xiàn)樣品表面的物性差。
高分子薄膜
電流模式
對樣品施加偏置電壓,檢測出微懸臂與樣品之間的電流并輸出影像。此外,還可以進(jìn)行I/V測量。
Si電路板上的SiO2圖案樣品。高度影像(左)中顯示為黃色的部分是SiO2。在電流影像(右)中顯示 為藍(lán)色(電流不經(jīng)過的部分)。通過上圖,可以明確電路板中也存在電流不經(jīng)過的部分。
表面電位模式(KFM)
使用導(dǎo)電性微懸臂并施加交流電壓, 檢測出微懸臂與樣品表面之間作用的靜電, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的電位。也稱作KFM(Kelvin Force Microscope)。
磁帶樣品。在電位影像中可以看出數(shù)百mV的電位差分布于磁帶表面。這些電位差的分布,可以認(rèn)為
是磁帶表面的潤滑膜分布不均勻。
磁力模式(MFM)
在相位模式中使用磁化后的微懸臂進(jìn)行掃描, 檢測出振動(dòng)的微懸臂的相位延遲, 從而在影像中呈現(xiàn)樣品表面的磁力信息。也稱作MFM(Magnetic Force Microscope)。
硬盤表面樣品。可以觀察到磁力信息。
裝配了激光掃描顯微鏡,靈活應(yīng)對多種樣品
輕松檢測85°尖銳角
采用了有著高N.A. 的物鏡和光學(xué)系統(tǒng)(能***限度發(fā)揮405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以地測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。
LEXT 物鏡
有尖銳角的樣品(剃刀)
高度分辨率10 nm,輕松測量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡, OLS4500達(dá)到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以對樣品的表面進(jìn)行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯獨(dú)有的亮度檢測技術(shù), OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外, 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標(biāo)——“正確性”(測量值與真正值的接近程度)和“重復(fù)性”(多次測量值的偏差程度)的性能。
0.12μm行間距
高度差標(biāo)準(zhǔn)類型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度測量中的檢測
從大范圍拼接影像中目標(biāo)區(qū)域
高倍率影像容易使視場范圍變小,而通過設(shè)置,OLS4500的拼接功能***多可以拼接625幅影像,從而能夠獲得高分辨率的大范圍視圖數(shù)據(jù)。不僅如此,還可以在該大范圍視圖上進(jìn)行3D顯示或3D測量。