SENTECH 光譜橢偏儀-SENresearch

SENresearch是一款高性能、研發(fā)用寬波段光譜橢偏儀，主要應(yīng)用是針對(duì)研發(fā)領(lǐng)域的薄膜、材料分析。

儀器介紹：

SENresearch寬波段光譜橢偏儀系列（光譜范圍190 nm –2500 nm），針對(duì)、滿(mǎn)足現(xiàn)代研究的需求，為任何應(yīng)用都能夠提供的測(cè)量速度和度。

該系列光譜橢偏儀能夠測(cè)量薄膜厚度，折射率，吸收系數(shù)，并能夠描述材料性質(zhì)，如材料組分、折射率梯度、表面和界面粗糙層、各向異性材料和多層膜。

    SENresearch光譜橢偏儀能夠分析并不理想的樣品，如退偏效應(yīng)，非均勻樣品，散射和背板反射。

SENresearch由SpectraRay II軟件操作,  完善的軟件能夠測(cè)量數(shù)據(jù)，建模，擬合并作出橢偏測(cè)量、反射/透射測(cè)量的結(jié)果報(bào)告。

步進(jìn)掃描分析器工作模式，消色差單色儀，電腦控制起偏器，UV-VIS波段快速二極管/CCD陣列探測(cè)器和NIR波段干涉儀調(diào)制探測(cè)器能提供快速測(cè)量和高信噪比，并為任何測(cè)量在全部psi, delta范圍（0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).）都提供高的測(cè)量精度。

SENresearch系列光譜橢偏儀能夠測(cè)量反射光偏振狀態(tài)，修正由于非均勻樣品、粗糙表面、聚焦角度所導(dǎo)致的退偏效應(yīng)。并能夠分析各向異性樣品和材料。

    SENTECH的地貌圖掃描選項(xiàng)，支持對(duì)復(fù)雜多層膜樣品在全波段快速測(cè)量并分析其均勻性（小每點(diǎn)5秒）。數(shù)據(jù)可按照設(shè)定的地圖圖案表現(xiàn)為2D-, 3D-或等高線圖，并能夠進(jìn)行全面統(tǒng)計(jì)分析。

可選自動(dòng)角度計(jì)，提供更大范圍入射角度(20-90 deg)。

可選低溫保持器用于溫度控制測(cè)量。