主要參數(shù)
MPT-1LN/RL060
MPT-1LN/RL100
MPT-1LN/RL140
運動自由度
Z
行程范圍(μ m±10%)
60
100
140
位移分辨率(nm)
6
10
14
重復定位精度(nm)
-/60
-/100
-/140
大負載(Kg)
1
靜電電容(uF±10%)
90
120
運動方向上剛度(N/μm±20%)
0.2
工作電壓(V)
0~150
工作溫度范圍 (℃ )
-20 ~ 80
外形尺寸A(mm)
33
43
51
開環(huán)工作臺匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號:PPC-1CR0150
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主要參數(shù)
MPT-1LN/RL060
MPT-1LN/RL100
MPT-1LN/RL140
運動自由度
Z
Z
Z
行程范圍(μ m±10%)
60
100
140
位移分辨率(nm)
6
10
14
重復定位精度(nm)
-/60
-/100
-/140
大負載(Kg)
1
1
1
靜電電容(uF±10%)
90
120
140
運動方向上剛度(N/μm±20%)
0.2
0.2
0.2
工作電壓(V)
0~150
0~150
0~150
工作溫度范圍 (℃ )
-20 ~ 80
-20 ~ 80
-20 ~ 80
外形尺寸A(mm)
33
43
51
開環(huán)工作臺匹配電源型號:HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺匹配電源型號:PPC-1CR0150