VPG⁺200 / VPG⁺400

高靈活度與高精度光刻的解決方案

The Multi-Purpose Volume Pattern Generators

光學系統(tǒng)上的創(chuàng)新與突破-平行化曝光制程技術制版系統(tǒng)

VPG+系列分為中小尺寸和大尺寸曝光系統(tǒng)，*服務中小型和大型版面的光刻制程。
VPG+200和VPG+400為*的中小型快速光刻機，采用VPG+800以上的大型平臺的運作原理，擁有光刻領域的*技術。

產(chǎn)業(yè)應用：MEMS、*封裝、3D集成、LED生產(chǎn)及化合物半導體等的領域。

關于我們 - Stella International

Stella International攜手光刻技術領航者-海德堡儀器公司，共同為客戶帶來*的綜合應用效能，同時建立緊密的合作伙伴關系。

為了服務客戶更廣泛多元的應用領域，Stella International于 2016年在蘇州成立海德堡儀器演示中心，以海德堡原廠伙伴技術支援，提供客戶技術交流平臺以及各式前段打樣的基礎研究，

這些年來已服務許多的國內(nèi)大學，研究所與企業(yè)前期研發(fā)單位。

介紹

德國海德堡 高精密無掩膜激光直寫設備
HEIDELBERG MASKLESS AND LASER LITHOGRAPHY SYSTEM

德國海德堡設備(Heidelberg Instruments)，創(chuàng)始于1984年，在激光直寫設備的發(fā)展和設計上，一直是*的。多年以來，系統(tǒng)設備持續(xù)地改良、在各種應用上客制化。

應用范圍包括：微電腦和納米科技, MEMS, 平面屏幕, BGA, ASICS, TFT, Plasma Displays, Micro Optics, 和其他相關領域。

銷售橫跨歐洲、美國、亞洲等過50幾個*、700個以上銷售據(jù)點，用于研發(fā)、快速原型制作和工業(yè)生產(chǎn)系統(tǒng)，是企業(yè)研究和發(fā)展的*伙伴。