国产自产v一区二区三区c按摩_亚洲AV秘片一区二区三3_色婷婷久久综合中文久久一本_色婷婷综合久久久久中文字幕

Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL3100

價格
¥2,000,000.00

型號
Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100

品牌
Hakuto

所在地
廣東省 深圳市

更新時間
2022-12-09 12:42:04

瀏覽次數(shù)

    Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 具有良好的均勻性和高蝕刻率, 均勻度 < ±5%, 刻蝕速率 >10 nm/min, 具有高冷卻效果.

    所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量.

    占用空間小, 容易維護(hù)和用戶操作友好.



    Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 產(chǎn)品優(yōu)勢:

    1. 所有流程全自動減少人工操作, 從而保證了產(chǎn)品的無差錯、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量

    2. 盒式房間采用高效微粒過濾器

    3. 采用高質(zhì)量的蝕刻考夫曼離子源, 保證良好的均勻性和高蝕刻率

    4. 占用空間小

    5. 傳輸系統(tǒng)采用了 SCARA 型機(jī)器人

    6. 控制單元系統(tǒng)提供操作通過觸摸屏/ 10.4英寸, 數(shù)據(jù)記錄可以顯示在屏幕上

    7. 高冷卻效果

    8. 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性的旋轉(zhuǎn)和傾斜階段具有良好的可重復(fù)性利用脈沖電動機(jī)

    9. 容易維護(hù)這個系統(tǒng)設(shè)計重點是容易維護(hù)和用戶友好

    10. 關(guān)鍵部件服務(wù)伯東的經(jīng)銷商是系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件渦輪泵系統(tǒng)、離子源提供客戶快速響應(yīng)時間和本地服務(wù)能力,減少停機(jī)時間的工具


    Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL 3100 技術(shù)參數(shù):

    Model MEL3100 Main body
    Wafer size 3"~6" Power
    Supply
    AC200V 3ph 40A
    Wafer per batch 1 wafer *two lines
    Cassette No. 25 wafers Cooling
    Water
    15 (l/min)
    Q'ty 1pc. <20℃
    Throughput 10 (wafer/hr) *1 CDA 0.5 (MPa)
    Pressure Ultimate 8×10-5 (Pa) *2 >10 (l/min)
    Process 2×10-2 (Pa) *2 N2 0.2 (MPa)
    Etching Rate >10 (nm/min)@SiO2 *3 >40 (l/min)
    Uniformity ±5%@132mm (6") *3 Ar 0.2 (MPa)
    Wafer surface temp. <100℃ *3 20 (sccm)
    Stage rotating 1~20 (rpm) ±5% He 0.2 (MPa)
    Stage tilting ±90°±0.5° 20 (sccm)
    Dimension
    W×D×H (mm)
    Main body 1,600×2,175×1,900 *need additional utilities
    for Dry pump
    Controller 640×610×1,900
    Chiller 555×515×1,025
    Weight (kg) Main body 1,700
    Controller 200
    Chiller 100
    *1: Estimated process time 5min
    *2: No wafer on stege / process chamber
    *3: Depending on process



     

    若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論,  請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:

    上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
     
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯東版權(quán)所有,  翻拷必究!


    以上信息由企業(yè)自行提供,信息內(nèi)容的真實性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé),儀器儀表交易網(wǎng)對此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。
    溫馨提示:為規(guī)避購買風(fēng)險,建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

    其他推薦產(chǎn)品

    伯東供應(yīng)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 142
    伯東供應(yīng)氦質(zhì)譜檢漏儀 A
    ¥1.00
    便攜式氦氣檢漏儀 MiniTest 300
    便攜式氦氣檢漏儀 Min
    ¥1.00
    移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 380
    移動型氦質(zhì)譜檢漏儀 AS
    ¥1.00
    氫氦雙檢吸槍檢漏儀 ASM 306 S
    氫氦雙檢吸槍檢漏儀 AS
    ¥1.00
    ATC 高靈敏度型微流量空氣檢漏儀 VE2
    ATC 高靈敏度型微流量
    ¥10.00
    ATC 壓差型微流量空氣檢漏儀 E2
    ATC 壓差型微流量空氣
    ¥10.00
    Hakuto 全自動離子刻蝕機(jī) MEL3100
    Hakuto 全自動離子
    ¥2,000,000.00
    您是不是在找:
    攪拌器移液器采樣儀進(jìn)樣器制樣機(jī)其它

    首頁| 關(guān)于我們| 聯(lián)系我們| 友情鏈接| 廣告服務(wù)| 會員服務(wù)| 付款方式| 意見反饋| 法律聲明| 服務(wù)條款

    国产自产v一区二区三区c按摩_亚洲AV秘片一区二区三3_色婷婷久久综合中文久久一本_色婷婷综合久久久久中文字幕