ECLIPSE L300ND金相顯微鏡 300mm硅片或17″FPD檢測,擁有CFI60光學系統(tǒng)用于集成電路檢查顯微鏡,由此獲得全所未有的高對比圖像。物鏡齊聚焦為60mm可以兼顧高數(shù)值孔徑和長工作距離:符合SEMI S293A,S8-95S設計;利用計算機輔助工程系統(tǒng),對機身進行防震設計;具有全面的防污染措施。
科學研究分析,材料分析,微電子觀察,TFT 液晶檢查,17寸FPD檢查,300mm硅片檢查。
◆倍率:25×-1500×(明暗場可以選擇)
◆反射照明部,12V50W鹵素燈,孔徑光闌(電動,可調心)視場光闌(固定帶對焦
目標) 可插入小孔光闌滑塊(OPTION) ,可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4)、 起偏器/檢偏器
透射照明部 :12W50W高亮度鹵素燈照明裝置,內(nèi)置孔徑光闌,內(nèi)置LWD聚光器
◆ 14x12載物臺、行程354mmx302mm(透射觀察范圍:354mmx268mm)
◆對焦行程29mm,粗調12.7mm/轉,微調0.1mm/轉(以um為單位)
◆觀察方法明暗場、微分干涉、簡易偏光,反射熒光
◆電動物鏡6孔物鏡轉換、孔徑調節(jié)、光亮調節(jié)
◆可以附加NIKON *數(shù)碼相機及CCD影像擴展
◆可以附加*金相測量軟件實現(xiàn)電腦測量
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