白光共聚焦顯微鏡OPTELICS HYBRID+

日本Lasertec以雙共聚焦光學(xué)系為基礎(chǔ)，搭載微分干涉觀察，垂直白光干涉測(cè)定，相差干涉測(cè)定，反射分光膜厚測(cè)定等功能，通常多臺(tái)設(shè)備才能完成的測(cè)試，僅需一臺(tái)設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)。

關(guān)鍵詞：激光共聚焦顯微鏡,白光共聚焦顯微鏡,lasertec共聚焦顯微鏡

OPTELICS HYBRID+ 簡(jiǎn)介：

日本Lasertec公司推出了Optelics混合共焦顯微鏡,將激光和白光源組合在一體,用于多功能高性能共聚顯微鏡.兩組共焦光學(xué)器件與附加器件相結(jié)合,包括干涉儀,微分干涉對(duì)比觀察和光譜反射膜厚度測(cè)量?jī)x。

集6項(xiàng)功能于一體

應(yīng)用：各種材料的觀察和形狀測(cè)量可以進(jìn)行毫米級(jí)到納米級(jí)的非接觸、

非破壞性形狀測(cè)量和觀察。它可以處理廣泛的工業(yè)領(lǐng)域中的各種樣品。

工業(yè)領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料（Si、Sic、抗蝕劑）、器件、電子元件

MEMS、微制造零件、涂層材料

薄膜、有機(jī)/無(wú)機(jī)材料、光學(xué)元件、薄膜

生物領(lǐng)域：

微流道

導(dǎo)管、劃痕等異物

可用于從研發(fā)領(lǐng)域接近量產(chǎn)的領(lǐng)域。

功能介紹：

白光共聚焦功能

寬視野觀察提高效率

采用白光光源可以獲取高清全彩圖像，有助于觀察。

激光共聚焦功

高倍率和高分辨觀察

配備波長(zhǎng)405nm的半導(dǎo)體激光器、無(wú)需預(yù)處理即可清晰采集納米級(jí)精細(xì)結(jié)構(gòu)，分辨率堪比電子顯微鏡。

鈮酸鋰 倍率：11000倍 半導(dǎo)體部件 倍率：3700倍

微分干涉功能

納米級(jí)凹凸觀察

共聚焦和微分干涉對(duì)比（DIC）的組合提供了樣品細(xì)微缺陷的清晰化觀察，可不受背面影響的情況下觀察透明樣品的正面

共聚焦觀察 共聚焦微分干涉觀察

垂直掃描白光干涉功能

毫米視野下的納米級(jí)臺(tái)階高度測(cè)量

高度分布數(shù)據(jù)是通過(guò)獲取白光和雙光干涉物鏡在光軸方向掃描時(shí)產(chǎn)生的干涉條紋強(qiáng)度峰值處的z-scale值來(lái)計(jì)算的。該方法適用于寬視場(chǎng)測(cè)量，因?yàn)槔碚撋显谌魏畏糯蟊稊?shù)的物鏡下都具有相同的高度測(cè)量分辨率。

1.5mm視野下44nm的測(cè)量 數(shù)um高度下10nm-100nm高度測(cè)量

相移干涉測(cè)量功能

埃米級(jí)臺(tái)階高度測(cè)量

由于單波長(zhǎng)光和兩光束干涉物鏡產(chǎn)生的干涉條紋是基于樣品表面的光程差分布，因此通過(guò)相位信息分析使用四個(gè)
相對(duì)于光軸不同位置的干涉條紋圖像來(lái)計(jì)算高度分布數(shù)據(jù)。

反射光膜厚測(cè)量功能

納米級(jí)透明膜厚測(cè)量

使用波長(zhǎng)選擇功能測(cè)量6個(gè)波長(zhǎng)的*反射率，使用光學(xué)模型擬合計(jì)算膜厚?？梢詼y(cè)量幾納米到1微米的單層/多層膜厚。由于測(cè)量區(qū)域是根據(jù)共焦觀察圖像的，因此可以計(jì)算亞微米微小區(qū)域到幾毫米整個(gè)視場(chǎng)的平均膜厚。此外，由于可以測(cè)量每個(gè)像素的膜厚，因此可以測(cè)量膜厚分布。

規(guī)格參數(shù)：