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晶圓缺陷檢測系統(tǒng)LODAS

價格
¥200,000.00

型號
LODAS

品牌
列真

所在地
暫無

更新時間
2023-01-07 20:15:05

瀏覽次數(shù)

    晶圓缺陷檢測系統(tǒng)LODAS

    可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面,背面和內(nèi)部的缺陷,可探測*小缺陷為100 納米,主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。

    晶圓缺陷檢測儀LODAS

    列真公司在半導(dǎo)體光罩檢測設(shè)備上積累了獨(dú)自技術(shù), 主產(chǎn)品 LODAS ?系列具有日本權(quán)的激光檢測技術(shù),可同時探測收集激光的反射光,透射光以及共聚焦,可一次性檢查第三代半導(dǎo)體 SIC 等材料表面,背面和內(nèi)部的缺陷,可探測*小缺陷為100 納米,主要用于半導(dǎo)體光罩、 LCD 大型光罩的石英玻璃表面、內(nèi)部、背面的缺陷檢查 。將此項技術(shù)運(yùn)用于第三代半導(dǎo)體材料的缺陷檢查,將提升量產(chǎn)成品率將具有重要意義。

    應(yīng)用: SiC、GaN

    半導(dǎo)體光罩(石英玻璃與涂層)、

    石英Wafer    Si Wafer

    HDD Disk LT Wafer

    藍(lán)寶石襯底、

    EUV光罩、

    光罩防塵膜

    可全面檢測 表面、內(nèi)部、背面的缺陷

    外延缺陷

    胡蘿卜型缺陷

    彗星缺陷

    三角缺陷

    邊緣缺陷

    襯底缺陷

    微管缺陷

    層錯缺陷

    六方空洞缺陷

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